тел.: (495)7182503
факс.: (495)7182503
117418, г. Москва, Нахимовский проспект, д.47 (здание ЦЭМИ РАН)
Федеральное государственное унитарное предприятие
«Внешнеэкономическое объединение
«Академинторг»
Российской академии наук»

Новое оборудование для Санкт-Петербургского Академического университета

Новое оборудование для Санкт-Петербургского Академического университета

Пуском в эксплуатацию установки молекулярно-пучковой эпитаксии GEN 200 (VEECO, USA), поставленной Внешнеэкономическим объединением «Академинторг», продолжено формирование технологического кластера, образованного на базе Санкт-Петербургского Академического университета – научно-образовательного центра нанотехнологий РАН.

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии GEN 200 является основным компонентом технологического кластера и представляет собой эпитаксиальную систему с двумя реакторами на одной платформе, работа которой обеспечивается оригинальной архитектурой высоковакуумной системы и оригинальным способом транспортировки полупроводниковых пластин между вакуумными камерами. Установка GEN 200 позволяет выращивать нитриды III группы и разнообразные гетероструктуры, в том числе на кремниевых подложках, а также приборы на их основе с использованием технологий на основе азотной плазмы.

Пуск в эксплуатацию данного технологического кластера открывает широкие перспективы по практическому внедрению фундаментальных результатов РАН в области физики и технологии наноструктур и подготовке высококвалифицированных кадров по данному направлению.